适用于半导体、光伏、显示面板行业高纯气体压力监测；
氦气泄漏率≤1×10-(12)kPa·L/s；
无氧焊接技术；
可选EP级、BA级；
百级洁净室生产包装符合SEMI E49.6；
VCR压力接口；
多客户安装长期使用。
MPM801UHP型超高纯压力表适用于芯片制造、光伏电池、显示面板生产、工业气体、生物医疗等领域。
适用于半导体、光伏、显示面板行业高纯气体压力监测；
氦气泄漏率≤1×10-(12)kPa·L/s；
无氧焊接技术；
可选EP级、BA级；
百级洁净室生产包装符合SEMI E49.6；
VCR压力接口；
多客户安装长期使用。
适用于半导体、光伏、显示面板行业高纯气体压力监测；
氦气泄漏率≤1×10(-12) kPa·L/s；
无氧焊接技术；
EP级、BA级；
百级洁净室生产包装符合SEMI E49.6；
VCR压力接口；
多客户安装长期使用；
开关量。
高纯气体从存储，输送，分配到使用，都离不开压力监测。麦克传感器研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表，对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说，是理想的选择。
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